• 適用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）壓力范圍內需要高抽速的應用
• 在必須避免因空氣進入或抽取的介質泄漏而可能造成污染的情況下使用
• 吸入或抽取高純度氣體
• 在不得由電機風扇循環通風的潔凈室中使用

RUVAC 羅茨泵是low-e鍍膜行業中的標配設備。當與現有的油封 SOGEVAC 泵結合使用時，它們可在進出樣室中實現較短的抽氣時間。當與干式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵結合使用時，它們可確保在工藝室中實現干燥、可靠和無故障的真空。

RUVAC 羅茨泵應用廣泛，可在特別需要快速抽空的應用中實現盡可能短的周期時間，例如在進出樣室或高速食品包裝中。

RUVAC 羅茨泵在鍍膜工藝流程前可快速達到低于 10-3 mbar 的壓力，抽空燈具和絕緣表面，滿足工藝要求。

RUVAC 羅茨泵還在長晶設備中用于制造單晶硅，單晶硅是制造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很樂意為您提供我們廣泛的產品以及應用支持和專業技術。